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侵刻相关论文

硅的表面结构与电化学

从原子水平到微米尺寸，准确控制硅表面结构的精密加工，诸如无序的表面粗糙或者精细的图案，乃是电子元件性能及其可靠性的保证．硅在液中......

期刊

硅侵刻溶解表面结构器件加工表面反应微机电系统 Silicon Etching Dissolution Surface structure M

硅的表面结构与电化学(英文)

从原子水平到微米尺寸,准确控制硅表面结构的精密加工,诸如无序的表面粗糙或者精细的图案,乃是电子元件性能及其可靠性的保证.硅在......

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