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采用埋沟、三层多晶硅、两次金属工艺,研制出正照EMCCD器件。器件的像元尺寸16μm×16μm。器件在-20℃下工作,读出频率10 MHz,倍......
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电子倍增CCD(EMCCD)成像系统的调制传递函数(MTF)是EMCCD成像系统成像性能的关键指标,优化成像系统的MTF能够提高成像系统的分辨力......
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