光刻胶光栅掩模相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

光刻胶光栅掩模相关论文

宽带脉冲压缩光栅的制作与刻蚀特性研究

大口径脉冲压缩光栅(PCG)是大型脉冲压缩系统中的核心元件之一,现有PCG包括：镀金光栅,多层介质膜光栅和金属介质膜光栅。课题的主要......

学位

脉冲压缩光栅衍射效率多层介质膜光栅离子束刻蚀光刻胶光栅掩模

低陡度光刻胶光栅槽形研究

为控制全息光刻胶光栅槽形，从研究显影时间、显影液温度等对光刻胶特性曲线的影响出发，采用计算机模拟和实验方法，制作出底部占宽比30......

期刊

衍射光学全息光刻胶光栅掩模槽形控制

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