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光学梯度膜相关论文
椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用
主要研究变角度变波长椭圆偏振仪测量多层膜每层膜厚和光学特性,并给出了光学梯度薄膜的梯度特性.......
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椭圆偏振仪
光学梯度膜
多层膜
膜厚
光学常数
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