光学表面面形相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

光学表面面形相关论文

基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性

根据高精度投影光刻物镜的特点,提出了一种运动学支撑结构,并采用实验结合有限元分析的方法研究了该支撑结构引起的透镜光学表面变......

期刊

投影物镜运动学支撑结构光学表面面形夹持力复现性有限元法 ZERNIKE多项式 projection objective kinematic moun

光学表面面形偏差分解的一种软件算法

本文给出了一种基于椭球面拟合的软件算法，能将光学表面的面形偏差分解成规则部分和不规则部分，并给予图示。用于面形偏差的定量评定......

期刊

干涉图椭球面拟合光学表面面形偏差算法

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