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随着大气污染问题日益严峻和各种工矿瓦斯爆炸事故频发，气体检测与控制越来越受到人们的重视。非分光红外(NDIR)气体检测方法因具有......
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形P......
