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利用三反射镜的消像差理论，进行了一种小轻、大视场的全反射系统的设计。该系统通过同轴设计、离轴使用，使筒长达到f'/7-f'9......
极紫外投影光刻技术是下一代光刻技术研发中的热点，是工作于13.5nm波长的光刻技术，被公认为即将在16nm节点应用于半导体工业生产，接替......
光学集成分析是对外界力或热作用下系统光学性能的分析.全金属反射光学系统主镜的集成分析包括:在AutoCAD和Pro/E中进行结构设计,......
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离轴三反镜光学系统具有高分辨率、大视场、质量轻、小体积等优点,能够满足空间对地遥感、红外系统多波段探测以及空间探测系统等......
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