准分子激光光源相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

准分子激光光源相关论文

深紫外光刻照明系统扩束单元设计

在曝光线宽为90 nm的投影光刻机中，准分子激光光源发出的矩形截面光束，需要进行一维扩束，以获得光束整形单元所需的正方形截面分布。......

期刊

几何光学照明系统设计一维扩束单元公差分析准分子激光光源单一透射率时间相干性 geometric optics illumination-system

看过本文同时还关注