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辉光放电对负偏压增强热丝化学气相沉积碳纳米管的准直生长作用研究
利用负偏压增强热丝化学气相沉积在不同的负偏压和压强下,在沉积有不同厚度NiFe膜的Si衬底上制备了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研......
期刊
辉光放电
负偏压增强热丝化学气相沉积
NiFe膜
碳纳米管
准直生长
aligned carbon nanotubes glow discharge negat
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