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前栅工艺下高k/金属栅CMOS器件EOT控制技术研究
随着CMOS器件特征尺寸的不断缩小,绝缘栅介质层也按照等比例缩小的原则变得越来越薄,由此而产生的栅漏电流增大和可靠性降低等问题变......
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高K栅介质
EOT
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