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功能性电子束抗蚀剂相关论文
功能性电子束抗蚀剂的研究及器件应用
纳米尺度的高分辨功能性结构在微电子器件、等离激元光学、生物传感等领域有着重要的应用。但是如何更加高效地加工出更高精度的功......
学位
高分辨功能性结构
电子束曝光
功能性电子束抗蚀剂
器件应用
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