区熔单晶炉相关论文
为了满足市场对Φ４英寸单晶的需求，我们针对ＦＺ１４－１型区熔单晶炉在Φ４英寸单晶生长过程中常出现的问题，经过分析进行了改进，基本消除了在拉制Φ......
就区熔单晶炉下轴旋转系统中，通常出现力矩电机输出力矩阵低的问题，提出了采用稀土永磁电机的改型设计试验。实际应用表明，该系统运行......
<正> 1. 前言对任何半导体材料,当从原材料熔体制造单晶时,至少要考虑下列各种条件。即材料熔体的保持和搅拌,确保拉制点附近的温......
本文介绍了在国产设备上试制生产Φ>76.2mm无位错区熔硅单晶过程中多次遇到而又必须解决的常见问题之一——“毛刺”问题.着重讨论......
