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随着氮化镓（Ga N）基发光二极管（LED）应用越发广泛,对器件性能的要求也越来越高,需要我们制备出高质量的Ga N外延薄膜以提升LED器件的光......
GaN基半导体材料的研究与应用是目前全球半导体研究的前沿和热点,是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料,并与SiC、金刚石......
由于常规的GaN是在极性c面蓝宝石上生长的,GaN基高电子迁移率晶体管的出色性能主要是因为AlGaN/GaN异质结界面存在着高密度和高迁......
利用KOH溶液的各向异性腐蚀,通过研究温度、异丙醇（IPA）及超声波振动对Si衬底腐蚀的影响,在Si（001）平面衬底上刻蚀出侧面为（111）面的槽状......
