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压阻温度特性相关论文

膜厚对多晶硅纳米薄膜压阻温度特性的影响

重掺杂多晶硅纳米薄膜具有良好的压阻温度特性,用它制作高温压阻式传感器灵敏度高、成本低,具有广阔的应用前景.为优化多晶硅纳米......

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多晶硅纳米膜压阻温度特性应变系数电阻率温度系数(TCR) 应变系数的温度系数(TCGF) polysilicon nanofilm piezoresist

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