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原位光发射谱相关论文
原位光发射谱研究横向偏压金刚石薄膜生长过程
利用热丝CVD方法研究了横向偏压对金刚石薄膜成核和生长的影响.实验表明,随着偏流的增加,金刚石在光滑硅衬底上的成核密度得到显著提高,最......
期刊
金刚石薄膜
横向偏压
原位光发射谱
非晶碳层
diamond film
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in situ optical emission spe
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