原子力显微镜(AFM)针尖诱导阳极氧化相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

原子力显微镜(AFM)针尖诱导阳极氧化相关论文

AFM加工的Ti纳米氧化钛线的直线度分析

为了与微电子加工工艺相结合,基于Ti氧化线的纳米电子和光电器件需要加工μm级长的Ti氧化线.Ti氧化线的直线度决定了加工的纳米器......

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原子力显微镜(AFM)针尖诱导阳极氧化 Ti氧化线直线度 atomic force microscopy（AFM） tip induced anodic ox

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