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原子沉积台控制系统实验研究
研究了以稳定F-P腔腔长来控制原子沉积台与驻波光场之间相对位置的稳定性。在简要分析F-P腔工作原理的基础上,设计了F-P腔腔长锁定......
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原子沉积台
驻波光场
F-P腔
压电陶瓷
控制系统
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