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微纳米测量技术在微机电系统(MEMS)装配与集成、集成电路(IC)制造与封装、超精密加工等领域广泛应用,并朝着高速、高精度方向发展......
通过研制重型数控立式铣车床的横梁升降W轴进给装置,实现了滑枕定悬伸等刚度切削,显著提高了横梁升降的速度和精度;通过取消60t重......
由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量。设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过......
提出了一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法。在分析光栅尺测量原理的基础上,探讨双光栅尺信号的切换合成;通过对莫尔条纹电......
