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AlN薄膜纵向导热与双坐标自检微阵列气流传感器的研究
气流传感器被广泛应用于工农业生产、航天探空、微气象站、人类的生活、交通旅游、管道运输和气象监测等领域,是获取气流大小、方......
学位
气流传感器
纵向导热
a-AlN绝缘膜
双坐标自检方法
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