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双大马士革湿法清洗相关论文
铜互连清洗工艺中铜腐蚀问题的研究
本文概述了集成电路铜互连清洗工艺中常见的铜腐蚀缺陷的基本常识,介绍了大马士革工艺湿法清洗导致铜互连腐蚀的形成过程。AIO孔洞......
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