双工件台光刻机相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

双工件台光刻机相关论文

工件台与掩模台控制系统若干问题研究

光刻机是一种半导体制造装备,是芯片生产流程中的关键设备。193nm步进扫描式光刻机是当今国际主流的光刻设备,同时伴随着双工件台......

学位

双工件台光刻机 6自由度动力学同步控制滑模变结构迭代学习控制轨迹规划

双工件台光刻机中的焦面控制技术

面对可用焦深日益缩短的趋势,高精度的焦面控制技术显得尤为重要。针对双工件台光刻机中采用的焦面控制技术,介绍了基于偏振调制的......

期刊

光学器件光刻术调平调焦双工件台光刻机

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