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双离子束测射相关论文

双离子束溅射法制备SiOxNy薄膜的结构与发光

本文采用双离子束溅射沉积法制备了SiOxNy复合薄膜,XRD、TEM测试表明薄膜呈非晶态,FTIR及XPS测试表明薄膜成分由Si、O、N组成,在室......

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双离子束测射 SIOXNY薄膜结构与发光 Dual ion beam sputtering SiOxNy film Structure and lumin

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