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芯片内互连线电特性研究与应用
本文的主要研究工作如下:第二章研究了基于有耗介质层上的二维或三维互连线的频变电容和电导参数提取方法,首先采用了全电荷格林函......
学位
全电荷格林函数法
Hadamard
片上互连线
有耗衬底
频变参数
MIS结构
双镜像法
CMOS工艺
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