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多晶硅工艺在超高频晶体管中的应用
试验使用LPCVD多晶硅薄膜工艺,以掺杂多晶硅发射极结构取代传统的泡发射极Ti-Al结构,用于超高频晶体管生产中,改善了器件性能,提高了成品率和可靠......
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多晶硅工艺
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