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基于ALD的二硫化钼薄膜的可控制造、相关性能及器件构筑研究

二硫化钼MoS2的特殊结构赋予了其优异的电学、光电学和机械等性能。本文利用原子层沉积（atomic layer deposition,ALD）的单原子层厚......

学位

原子层沉积二硫化钼可控制造摩擦压电场效应管

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