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可靠性MEMS微结构相关论文
“三明治”式电容微加速度计的环境应力作用建模与可靠性试验仿真
目前国内外MEMS可靠性研究仍处于起步阶段。本文进行了一定的探索性工作,旨在通过有限元分析软件对微结构进行建模、加载和求解来获......
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电容微加速度计
电容微加速度计环境应力
环境应力有限元仿真
有限元仿真可靠性
可靠性MEMS微结构
MEMS微结构
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