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移相技术是当前光学件波面检测的重要技术方法，按移相方式可分为硬件移相技术和波长移相技术，其中以压电陶瓷实现移相为代表的硬件移......
大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余......
针对微机电系统(MEMS)中微小器件的表面刻蚀沟槽及台阶的测量,研制采用步进电机运动平台和微力电感测头,用变截面片簧作回转运动的......
概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Carre)算法......
近年来随着微机电系统(MEMS)的推广应用,MEMS技术已成为二十一世纪的关键技术之一。硅由于其自身良好的材料性能在MEMS中受到了广......
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了......
