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含金属C薄膜相关论文
ECR结合磁控溅射——制备DLC薄膜的新方法
介绍了新型的结合电子回旋共振(ECR)微波等离子体气相沉积与磁控溅射镀膜特点的ECR一650型镀膜系统,并利用该系统通过溅射石墨靶和金......
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含金属C薄膜
ECR溅射镀膜
磁控溅射
石墨靶
metal containing carbon film
ECR sputtering
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