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吸水反应相关论文
SiOC低介电常数介质吸湿机理的理论研究
利用密度泛函理论(DFT)系统研究了掺碳的SiOz低κ互连介质(SiOC)的吸湿问题.比较了Si-CH3和Si-CH2-Si这两种反应位与H2O的反应,研......
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SiOC薄膜
低介电介质
密度泛函理论
吸水反应
互连线
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