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四周式柔性支撑相关论文
压电陶瓷驱动FSM三自由度柔性支撑设计
为了有效吸收反射镜偏转造成驱动点的横向位置偏差,保护压电陶瓷驱动器,抑制反射镜在非工作方向上的自由度,提高系统谐振频率,设计......
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快速反射镜
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