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图形化硅衬底相关论文
单晶硅在四甲基氢氧化铵溶液中的蚀刻行为研究
硅衬底的图形化是指利用标准光刻联合干湿法蚀刻工艺在硅衬底表面制备具有特殊图形的方法。图形化硅衬底广泛应用于太阳能电池、LE......
学位
图形化硅衬底
TMAH蚀刻剂
向异性湿法蚀刻
形貌演变
晶面指数
蚀刻速率
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