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在线真空退火工艺相关论文

玻璃基SnO2：Sb透明导电薄膜的射频磁控溅射法制备及其光电性能研究

透明导电氧化物薄膜作为一种功能材料有大的载流子浓度和光学禁带宽度,因而表现出优良的光电特性,如较低的电阻率和较高的可见光透......

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ATO透明导电薄膜射频磁控溅射氧化物陶瓷靶红外反射在线真空退火工艺

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