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氮化碳薄膜场致电子发射特性研究
本文分别采用直流磁控溅射技术和微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)技术在镀钛氧化铝陶瓷衬底上制备了氮化碳薄膜,并研究了样品......
学位
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)
氮化碳薄膜
场致电子发射
场致发射平板显示
磁控溅射沉积技术
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