介绍了一种改善准分子激光输出光束光强均匀性的新方法，给出了实验结果和简要的分析。 A new method to improve the uniformity o......

本文报道了一种用空间滤波改善光管式光学均匀性的技术,该技术使用空间滤波器滤除入射光束中光场突变部分,提高了光管式光学均匀器......

利用深蚀刻二元光学理论和技术设计并制作了用于准分子激光器曝光系统的深蚀刻二元光学均匀器 .与原来使用的积分均匀器 (石英棒列......