壳体谐振器相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

壳体谐振器相关论文

基于硅各向同性腐蚀工艺的三维曲面壳体微谐振器制备技术

轴对称3D曲面壳体谐振器具有自身对称性好、耐冲击能力强、可靠性高的特点,是应用最为广泛的谐振器之一,但因制备工艺涉及薄壳结构......

期刊

微机电系统 3D工艺硅各向同性腐蚀壳体谐振器轴对称 Micro-Electro-Mechanical System(MEMS)three-dimensio

微型化半球陀螺制备工艺发展现状及趋势分析

因低噪声、高性能、无磨损的优势,半球陀螺已成为航空、航天领域内的最佳导航陀螺。半球陀螺的微型化是微机电陀螺领域的研究热点,......

期刊

微半球陀螺微谐振器微机电系统微加工工艺壳体谐振器

看过本文同时还关注