外延-注氧隔离相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

外延-注氧隔离相关论文

一种新的基于E-SIMOX衬底的PSOI高压器件

首次提出了一种新的采用E-SIMOX技术的界面电荷岛结构的PSOI高压器件（NI PSOI）。该结构在SOI器件介质层上界面注入形成一系列等距的......

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外延-注氧隔离电荷岛击穿电压界面电荷介质场增强 E-SIMOX charges islands breakdown voltage interface

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