外延横向过生长相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

外延横向过生长相关论文

发展中的绝缘体上硅材料技术

在高可靠、抗核加固IC和亚微米CMOSFET VLSI电路应用中,绝缘体上硅 (SOI)是一种很有前途的材料技术。本文对形成SOI的各种技术及其......

期刊

SOI材料技术氧注入隔离区熔再结晶多孔硅氧化全隔离外延横向过生长多层异质外延硅片粘合与内向腐蚀

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