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多晶硅微机械相关论文

多晶硅微机械抗粘附结构参数设计

讨论了在大气环境或有液体的环境下,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响,以及真空条件下Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的......

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多晶硅微机械抗粘附结构参数设计微型机械表面张力 CASIMIR力稳定性 MEMScapillary forceCasimir forcemechanic

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