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多晶硅梁相关论文
多晶硅梁疲劳失效的研究与分析
MEMS器件在受到循环载荷的作用之后发生失效,这种失效方式即为疲劳失效。例如RF开关等面外运动器件,在循环的振动载荷作用后,器件可能......
学位
MEMS器件
多晶硅梁
振动载荷
疲劳失效
加速寿命因子
可靠性分析
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