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多次平移法相关论文
基于多次平移的平面绝对检测仿真
将待测面形表示为多项式的和,通过分别沿x,Y向多次平移待检光学元件得到移动前后待测元件面形差,采用最小二乘法拟合多项式系数,得到待......
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