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快速退火对SiGe/Si多量子阱p—i—n光电二极管的影响
利用光电流谱,结合X射线双晶衍射研究了快速退火对Si1-xGex/Si多量子阱p-i-n光电二极管的影响。由于应变SiGe的部分弛豫和Si-Ge互扩......
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