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大直径晶片相关论文
Design of Rapid Thermal Processing for Large Diameter Wafer
在钨卤素灯的安排和晶片收到的发光的一致性之间的关系被讨论,并且一种 axial-symmetricallamps-array 被设计保证边上的照耀是近似......
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大直径晶片
快速热处理
钨卤素灯
退火处理
Rapid thermal processing Rapid thermal annealing Tungsten-
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