大面积均匀性相关论文
被称作“终极半导体材料”的金刚石是目前最具发展前途的半导体材料。然而,由于金刚石尺寸及价格的限制使其很难快速推动金刚石半......
该文工作主要集中在用于制备非晶硅和纳米硅薄膜太阳电池的多腔室、大面积等离子体沉积系统的研发。在制备工艺方面，系统研究沉积压......
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大尺寸中阶梯光栅具有孔径大的特点,且衍射级次极高,具有可达106的极高光谱分辨本领,加之宽光谱范围和高色散率等优点,被广泛应用......
首先对电极表面VHF频段电场分布进行了详细的物理分析，认为当激发频率在VHF频段时驻波和损耗波对电场均匀性分布影响很大，而通过选择......
大尺寸中阶梯光栅具有大孔径和极高的衍射级次,可以实现普通光栅难以达到的极高光谱分辨率,而制备大面积均匀性的高质量铝膜是实现......
