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大面积平面相关论文

激光沉积大面积均匀薄膜数学模型与实验

由于激光烧蚀靶材产生的等离子体呈高斯分布,其中所包含粒子密度及性能的空间分布极不均匀,因此脉冲激光沉积法难以制备性能与膜厚......

期刊

脉冲激光沉积大面积平面均匀薄膜类金刚石膜 pulsed laser deposition large planar surface uniform f

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