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大面积表面波等离子体相关论文
超高频波驱动的大面积平面表面波等离子体源的研究
随着等离子体科学研究的不断深化、发展,等离子体技术被应用于非常广泛的领域,特别是在集成电路制造、材料处理等方面,等离子体技......
学位
915MHz UHF波
大面积表面波等离子体
表面等离子体激元
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