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密化工艺相关论文
PSG钝化膜密化工艺研究
作者对半导体芯片的PSG钝化膜进行了密化处理,对密化膜的质量作了多方面的分析,并且对应用该工艺的器件可靠性进行了考核,证实密化工......
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PSG
钝化膜
密化工艺
半导体
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