富硅SiO2薄膜相关硕士博士期刊学术论文

一、SiOx(x＜2)薄膜的光致发光研究硅质优、价廉、工艺高度成熟，是微电子核心材料。以硅为原材料的器件产值约占半导体器件总产值的95......