射频微机械相关论文
对国内外有关微机械可变电容的研究做了综合阐述,包括改变介质的可变电容、改变重叠面积的可变电容和改变间隔的可变电容.并对其中......
在低损耗的微波和毫米波电路中,静电驱动的射频微机械(MEMS)开关表现出巨大的应用前景.和传统的半导体开关相比,由于在结构上消除......
MEMS技术显示了其在微波领域的巨大应用潜力.利用RF MEMS开关制造的RF MEMS移相器具有插损小、功耗低、宽带宽、体积小等优点,因此......
通过对射频微机械共面波导(CPW)开关的工作原理进行分析,提出了一种测试射频微机械开关的电路结构.根据Cadence工作站的模拟,验证......
提出了一种高Q值、宽调节范围的凹型结构微机械可变电容.它由4个(3对)极板构成,其中一对为电容极板,另外两对为控制极板.RF信号通......
RF MEMS（射频微机械）技术的出现为微波器件的设计和加工提供了新途径。RF MEMS器件具有可集成、低功耗、高线性度以及小型化等优异性......
综述了国内外FBAR技术的研究现状和进展。分析了基于空气腔和布拉格反射层两种主流FBAR的结构、工作原理和建模方法。阐述了适用于......
随着电子设备对高性能、微小型化的进一步要求,电子元器件都在向高性能、低成本、低功耗的方向发展。高Q值,小型化的谐振器、滤波......
