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射频磁控反溅射相关论文
GexC1—x薄膜在红外增透保护模系设计和制备中的应用
用磁控反应溅射(RS)法制备出GexC1-x薄膜,它的折射率可在1.6~4.0之间变化,设计出没厚度的GexC1-x均匀增透膜 非均匀增透膜系,并在ZnS基片上制备出GexC1-x均匀增膜系,设计结......
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射频磁控反溅射
红外增透保护膜系
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