射频等离子增强化学气相淀积相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

射频等离子增强化学气相淀积相关论文

多皱纹纳米石墨片的制备及其工艺研究

在500℃下,采用PECVD法在以玻璃为衬底的多种金属镀层上成功制备出纳米石墨片。SEM分析表明,不同催化剂层上生长的二维纳米石墨片......

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射频等离子增强化学气相淀积碳纳米片碳纳米墙 plasma enhanced chemical deposition carbon nano-sheet ca

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